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電気静的チャック アルミナイトリド セラミック 密度 3.3g/Cm3 表面粗さ Ra≤6um

陶磁器窒化アルミニウム
2024-01-24
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#窒化アルミニウムの陶磁器の管 #陶磁器アーク抵抗の窒化アルミニウム #陶磁器絶縁材の抵抗力がある窒化アルミニウム
アルミナイトライド 電気静止チャック用陶器 密度 3.3g/Cm3 表面粗さ Ra≤6um 製品説明: 製品概要 - アルミニウムナイトリドセラミック 静電チャック (ESC) は,様々な半導体プロセスで,加工中にウエファーを保持するために使用されます.ESCは,高電圧で偏った統合電極を持つプレートを使用し,プレートとウェーファーの間に静電保持力を確立します.アルミニウムナイトリドセラミックは高熱... もっと見る
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